整合多項(xiàng)功能:
1 自動勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
主要特點(diǎn):
可以控制加速度
平穩(wěn)轉(zhuǎn)速,預(yù)設(shè)值與實(shí)際值 誤差率 1‰ 。有視頻為證(如想觀看視頻,請聯(lián)系我)
端跳 ±2.5%mm .
全自動精確滴膠。
產(chǎn)品簡介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝?稍诳蒲,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
主要特點(diǎn)
TX300-5自動滴膠勻膠顯影機(jī)Spin Processors :
32位工業(yè)計(jì)算機(jī)芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示,設(shè)定,控制。
TX300-5自動滴膠勻膠顯影機(jī)Spin Processors
可設(shè)定存儲25個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài);
運(yùn)行過程可以暫停,重復(fù)啟動。
循環(huán)轉(zhuǎn)移:最大次數(shù):2的16次方= 65536次。(用途:工藝過程重復(fù)部分的設(shè)定)
TX300-5自動滴膠勻膠顯影機(jī)Spin Processors
液晶顯示屏可以實(shí)時顯示
直觀顯示轉(zhuǎn)速時間曲線。
第N個涂敷工藝過程
所處工作段
真空吸片狀態(tài)。
設(shè)置時間;及實(shí)時運(yùn)行時間。
設(shè)置速度;及實(shí)時速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對話,簡潔,明了。
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實(shí)時檢測系統(tǒng)真空度,
必須在安全的真空度下,電機(jī)啟動,運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。
轉(zhuǎn)速精度更高:
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
最高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
NPP材質(zhì)工作腔,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
能精確滴定5種膠體或氣體。(包括膠體,顯影液,定型液,氮?dú)?
工作腔直徑315mm?梢孕孔畲蠡睆250mm圓片或 200mm*200mm方片 。
(圖片)?捎帽潦。
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異,對大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。
自動滴料實(shí)物圖
技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)功率:150W
旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑:4英寸(102mm,標(biāo)準(zhǔn)配置)
可選擇配置: 基片直徑10—280mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
整個工藝過程是一條連續(xù)的曲線?杉訙p速度?芍貜(fù)跳轉(zhuǎn)工藝過程。
可精確滴定5種膠體,液體或是氣體。
可設(shè)定時間:1---9999秒。
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒,滴膠針頭
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