TX400-5 自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors
高精度自動滴膠勻膠機 旋涂儀 真空旋轉涂層機
整合多項功能：
1 自動勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
產(chǎn)品簡介：主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝�？稍诳蒲�，教育，生產(chǎn)中應用。
主要特點
TX400-5自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors ：
32位工業(yè)計算機芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示，設定，控制。
TX400-5自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors
可設定存儲25個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設置100步不同的速度狀態(tài)；
運行過程可以暫停，重復啟動。
循環(huán)轉移：最大次數(shù)：2的16次方= 65536次。（用途：工藝過程重復部分的設定）
液晶顯示屏可以實時顯示
直觀顯示轉速時間曲線。
第N個涂敷工藝過程
所處工作段
真空吸片狀態(tài)。
設置時間；及實時運行時間。
設置速度；及實時速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機交互式對話，簡潔，明了。
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度，
必須在安全的真空度下，電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。
：
轉速精度更高：
300 - 10000 轉/分，轉速穩(wěn)定性：+ - 0.1 %
最高轉速10000轉/分
NPP材質(zhì)工作腔，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。
TX400-5自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors
能精確滴定5種膠體或氣體。(包括膠體，顯影液，定型液，氮氣)
工作腔直徑400mm�？梢孕孔畲蠡睆�380mm圓片或 250mm*250mm方片。
(圖片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化學穩(wěn)定性優(yōu)異，對大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。
技術參數(shù)：
單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：150W
旋轉真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標準配置）
可選擇配置： 基片直徑10—480mm可接受訂貨。
轉數(shù)：300 - 10000 轉/分。
整個工藝過程是一條連續(xù)的曲線�？杉訙p速度�？芍貜吞D工藝過程。
可精確滴定5種膠體，液體或是氣體。
可設定時間：1---9999秒。
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒，滴膠針頭。
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62mm 吸盤
高性能勻膠機旋涂儀 可選購：直徑10，20，25，50，75mm聚四氟乙烯吸盤。（現(xiàn)貨人民幣450元/個）
高性能勻膠機旋涂儀 碎片 微 小片 卡盤。（現(xiàn)貨人民幣580元/個）
高性能勻膠機旋涂儀 各種卡盤接受訂貨。因客戶要求差異太大，無法備貨。
吸盤卡盤滴膠機等全體附件
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TT-200勻膠機
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TB-616勻膠機
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TA-280勻膠機
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TC-218勻膠機
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